无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的方法

摘要

本发明公开了无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的方法，包括：（1）将第一氯硅烷进行第一精馏提纯得到第一塔顶蒸汽和第一塔底液；（2）将第一塔顶蒸汽进行第一冷凝处理，并将得到第一氯硅烷冷凝液返回至第一精馏塔内；（3）将第一塔底液进行第一再沸处理并将得到第一再沸蒸汽回至第一精馏塔内；（4）将第二氯硅烷进行第二精馏提纯得到第二塔顶蒸汽和第二塔底液；（5）将第二塔顶蒸汽用于第一再沸处理并将得到第二氯硅烷冷凝液返回至第二精馏塔；（6）将第二塔底液进行第二再沸处理并将得到第二再沸蒸汽返回至第二精馏塔。采用本发明的提纯氯硅烷的方法可以实现不同塔组之间的塔差压热耦合，扩大了差压热耦合的使用范围，解决了多晶硅系统中提纯工序高能耗的问题。

主权项

一种无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的方法，其特征在于，第一精馏塔为粗馏塔组的脱轻塔，第二精馏塔为回收塔，所述无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的方法包括：(1)将第一氯硅烷在第一精馏塔内进行第一精馏提纯，以便得到第一塔顶蒸汽和第一塔底液；(2)将所述第一塔顶蒸汽在冷凝器内进行第一冷凝处理，以便得到第一氯硅烷冷凝液，以及将所述第一氯硅烷冷凝液的一部分返回至所述第一精馏塔内；(3)将所述第一塔底液的一部分在第一再沸器内进行第一再沸处理，以便得到第一再沸蒸汽，并将所述第一再沸蒸汽返回至所述第一精馏塔内；(4)将第二氯硅烷在第二精馏塔内进行第二精馏提纯，以便得到第二塔顶蒸汽和第二塔底液；(5)将所述第二塔顶蒸汽返回至步骤(3)中用于所述第一再沸处理，以便得到第二氯硅烷冷凝液，以及将所述第二氯硅烷冷凝液的一部分返回至所述第二精馏塔内；以及(6)将所述第二塔底液的一部分在第二再沸器内进行第二再沸处理，以便得到第二再沸蒸汽，并将所述第二再沸蒸汽返回至所述第二精馏塔内。