双喷管多晶硅片切割机构

摘要

本实用新型公开了一种双喷管多晶硅片切割机构，包括：两个导轮，两个所述导轮之间设置切割钢线连接，于所述切割钢线上方设置待切割的晶棒；在所述切割钢线的进线方向，所述晶棒的一侧设置有两个砂浆喷管；在所述切割钢线的出线方向，所述晶棒的一侧设置有一个砂浆喷管；所述砂浆喷管均与砂浆供给系统连接。该切割机构结构简单，设置有多个砂浆喷管，降低因杂质等进入砂浆喷管堵塞喷嘴，而出现砂浆断流的几率，提高切割钢线带砂的物理效应，提高了多线切割的效率与质量。

主权项

一种双喷管多晶硅片切割机构，其特征在于，包括：两个导轮，两个所述导轮之间设置切割钢线连接，于所述切割钢线上方设置待切割的晶棒；在所述切割钢线的进线方向，所述晶棒的一侧设置有两个砂浆喷管；在所述切割钢线的出线方向，所述晶棒的一侧设置有一个砂浆喷管；所述砂浆喷管均与砂浆供给系统连接。