合成非晶态二氧化硅粉末及其制造方法

摘要

本发明的合成非晶态二氧化硅粉末，是对二氧化硅粉末实施球化处理后，进行洗涤、干燥而得到的平均粒径D₅₀为10～2000μm的合成非晶态二氧化硅粉末，其特征在于，用BET比表面积除以由平均粒径D₅₀算出的理论比表面积而得的值为1.00～1.35，真密度为2.10～2.20g/cm³，粒子内空隙率为0～0.05，圆形度为0.75～1.00，以及未熔化率为0.00～0.25。该合成非晶态二氧化硅粉末在表面吸附的气体成分、粉末内部的气体成分少，因此对于使用该粉末制造的合成石英玻璃，即使在高温和减压的环境下使用，也可以大幅减少气泡的产生或膨胀。

主权项

合成非晶态二氧化硅粉末，其是如下述这样得到的平均粒径D₅₀为10～2000μm的合成非晶态二氧化硅粉末，即，对造粒过的二氧化硅粉末在1200℃～1450℃的温度下进行煅烧，并在将利用了热等离子体的球化装置中的高频功率（W）设为A、上述二氧化硅粉末的供给速度（kg/hr）设为B时，在上述高频功率A为90～120kW的条件下，使上述二氧化硅粉末的供给速度B为3.5～11.5kg/hr，且调整上述高频功率A和上述二氧化硅粉末的供给速度B、以使A/B的值为1.0×10⁴以上，该A/B的数值单位为W・hr/kg，而将上述煅烧过的二氧化硅粉末进行球化，将上述球化了的二氧化硅粉末在超纯水中进行超声波洗涤，超声波洗涤后，利用网眼粗的过滤器进行超纯水的过滤，反复进行上述超纯水的过滤和超声波洗涤，直至上述球化二氧化硅粉末的微粉在上述超纯水中消失，将附着在上述球化二氧化硅粉末表面的微粉去除后，将上述洗涤过的球化二氧化硅粉末一边以1～20L/min的流量流入氮或氩、一边在100℃～400℃的温度下保持3～48小时来进行干燥而得到，其中，用BET比表面积除以由平均粒径D₅₀算出的理论比表面积而得的值为1.00～1.35，真密度为2.10～2.20g/cm³，粒子内空隙率为0～0.05，圆形度为0.75～1.00，以及未熔化率为0.00～0.25，满足碳浓度小于2ppm或氯浓度小于2ppm的任一者或这两者。