用于微纳加工与表面形貌测量的设备及其使用方法

摘要

本发明公开了一种用于微纳加工与表面形貌测量的设备，包括底座和垂直固定在底座上的立座以及三个呈空间正交分布的手动螺旋台，三个手动螺旋台分别为：安装在底座上的Y向手动螺旋台、安装在Y向手动螺旋台上的X向手动螺旋台和安装在立座上的Z向手动螺旋台，在X向手动螺旋台上固定有x/y/z三向精密定位平台，在x/y/z三向精密定位平台上固定有载物台，在x/y/z三向精密定位平台上方设有探针系统，探针系统安装在L型板的下表面上，L型板固定在Z向手动螺旋台上。本发明还公开了上述设备的使用方法。本发明能够实现基于位移和基于力的两种方式的微纳加工以及实现基于力的表面形貌测量。

主权项

一种用于微纳加工与表面形貌测量的设备，其特征在于，包括底座和垂直固定在所述底座上的立座以及三个呈空间正交分布的手动螺旋台，三个所述手动螺旋台分别为：安装在所述底座上的Y向手动螺旋台、安装在所述Y向手动螺旋台上的X向手动螺旋台和安装在所述立座上的Z向手动螺旋台，在所述X向手动螺旋台上固定有x/y/z三向精密定位平台，在所述x/y/z三向精密定位平台上固定有载物台，在所述x/y/z三向精密定位平台上方设有探针系统，所述探针系统安装在L型板的下表面上，所述L型板固定在所述Z向手动螺旋台上；所述探针系统包括从上至下依次同心固接的上端盖、线圈箍、连接环、探针悬臂和下端盖；所述上端盖固接在所述L型板的下表面上；所述线圈箍的上部为连接盘，下部为绕线轮，中心处设有通孔，在所述绕线轮上绕有线圈，所述绕线轮延伸至所述连接环内；在所述下端盖的上表面中部设有方槽，在所述方槽内嵌装有玻璃基片，在所述玻璃基片的上表面上形成有电镀铜膜；所述探针悬臂形成在一个金属箔片的中部，采用镂空封闭结构，在所述探针悬臂上表面的中心处固设有永磁体，所述永磁体的上部延伸至所述线圈箍的中心通孔内，在所述探针悬臂下表面的中心处固设有金刚石探针，所述金刚石探针穿过所述玻璃基片和所述下端盖伸出在所述下端盖之下，所述金刚石探针、所述永磁体和所述线圈箍同轴设置；所述电镀铜膜与所述探针悬臂组成电容传感器。