发明名称 |
一种100V肖特基二极管台面制作方法 |
摘要 |
本发明属于电子元件技术领域,涉及一种100V肖特基二极管台面制作方法。本发明在于不增加产品尺寸的基础上,通过对势垒区台面腐蚀形成沟槽,达到增加肖特基势垒金属面积、降低正向压降的目的;硅腐蚀液中的HNO<sub>3</sub>对硅起氧化作用,HF对硅起腐蚀作用,HAC是在腐蚀过程对整个腐蚀过程起缓冲作用,使整个硅的过程沟槽表面均匀光滑;在衬底硅片势垒区上溅射Ni-Pt60合金靶材,形成稳定的Ni-Pt60合金镀层,利用金属Ni与Pt金属的不同特性,降低了漏电流和正向压降,提高了产品结温。 |
申请公布号 |
CN105355554A |
申请公布日期 |
2016.02.24 |
申请号 |
CN201510920186.7 |
申请日期 |
2015.12.10 |
申请人 |
天水天光半导体有限责任公司 |
发明人 |
张志向;杜林德 |
分类号 |
H01L21/329(2006.01)I;H01L29/47(2006.01)I;H01L29/872(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/329(2006.01)I |
代理机构 |
甘肃省知识产权事务中心 62100 |
代理人 |
李琪 |
主权项 |
一种100V肖特基二极管台面制作方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)、对衬底硅片进行清洗,甩干待用;(2)、对清洗后的衬底硅片进行初始氧化;(3)、对氧化后的衬底硅片正面进行基区光刻,在衬底硅片P+环上注入硼,再进行退火处理;(4)、对完成退火处理的衬底硅片进行引线孔光刻;(5)、在完成引线孔光刻的衬底硅片势垒区台面上进行台面光刻,形成沟槽图形;(6)、使用硅腐蚀液对衬底硅片势垒区台面上的沟槽图形进行腐蚀,使衬底硅片势垒区台面上形成完整的沟槽;(7)、对完成腐蚀的衬底硅片势垒区上溅射Ni‑Pt60合金靶材,形成Ni‑Pt60合金镀层;(8)、对完成溅射的衬底硅片依次进行势垒区金属合金、势垒区金属腐蚀和势垒区金属清洗;(9)、对完成势垒区金属清洗的衬底硅片依次进行Ti金属蒸发、Ni金属蒸发和Ag金属蒸发,使得衬底硅片上由内向外形成Ti金属镀层、Ni金属镀层和Ag金属镀层;(10)、对完成金属蒸发的衬底硅片依次进行正面金属光刻、正面金属腐蚀、正面金属去胶和正面金属合金;(11)、对完成正面金属合金的衬底硅片进行电性测试、减薄、背面去应力腐蚀,划片入库。 |
地址 |
741000 甘肃省天水市环城西路7号 |