发明名称 |
一种晶片钝化工艺 |
摘要 |
一种晶片钝化工艺。涉及一种新型的汽车芯片PN结的钝化工艺。方便加工,提高产品质量和使用寿命。以正面开口沟槽的晶片为原料;包括以下步骤:S1,清洗、甩干;S2,一次氧化;S3,二次氧化;S4,三次氧化;S5,降温;S6,晶片生成氧化膜钝化层,完毕。本发明中将晶片进行三次氧化加工,一次干氧提升生长的氧化膜的质量;二次氧化能快速增加氧化膜的厚度;三次干氧的作用是生长一层厚度致密的氧化膜,能起到很好的阻挡作用;三次氧化即可形成一个既厚,又有致密性能的氧化膜,提升了产品的质量;然后,按照正常工序进行二次黄光、使用BOE溶液去除氧化膜和金属化操作,完成产品生产。本发明提高了产品的使用寿命和可靠性。 |
申请公布号 |
CN105355551A |
申请公布日期 |
2016.02.24 |
申请号 |
CN201510772195.6 |
申请日期 |
2015.11.12 |
申请人 |
扬州杰利半导体有限公司 |
发明人 |
游佩武;裘立强;王毅 |
分类号 |
H01L21/316(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/316(2006.01)I |
代理机构 |
南京纵横知识产权代理有限公司 32224 |
代理人 |
周全;葛军 |
主权项 |
一种晶片钝化工艺,其特征在于,以正面开口沟槽的晶片为原料;包括以下步骤:S1,清洗、甩干,对晶片进行RCA清洗,再通过甩干机甩干;S2,一次氧化,将甩干后的晶片送至温度为600℃的扩散炉内,然后,升温至1100±50℃,通入掺氯的干氧气氛进行氧化,时间为0.5‑1.5h,在晶片的正面、背面形成单层厚度为1000‑2000埃的SiO<sub>2</sub>氧化膜;S3,二次氧化,将一次氧化后的晶片放置于扩散炉的湿氧气氛中氧化,氧化温度为1100±50℃,时间为3‑8h,在晶片的正面、背面形成单层厚度为8000‑16000埃的SiO<sub>2</sub>氧化膜;S4,三次氧化,将二次氧化后的晶片放置于扩散炉的干氧气氛中氧化,氧化温度为1100±50℃,时间为0.5‑1.5h,在晶片的正面、背面形成单层厚度为1000‑2000埃的SiO<sub>2</sub>氧化膜; S5,降温,将三次氧化后总膜厚度为10000‑20000埃的晶片按1‑2℃/min的速度从1100±50℃降温至600℃;S6,晶片生成氧化膜钝化层,完毕。 |
地址 |
225008 江苏省扬州市平山堂北路江阳创业园三期 |