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发明名称 Procédé de détermination de l'épaisseur d'une couche épitaxiale
摘要
申请公布号 FR1299243(A) 申请公布日期 1962.07.20
申请号 FR19610871769 申请日期 1961.08.28
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED 发明人
分类号 G01B11/06;H01L21/66 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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