| 发明名称 | 一种调控椭偏仪温度场的装置及方法 | ||
| 摘要 | 一种调控椭偏仪温度场的装置及方法，待测试样品固定于变温台的样品室内，变温台通过绝热转接板固定于可调节样品台上，变温台与可调节样品台完全置于柔性密封装置内；变温台采用传导式导热设计，样品室窗口无介质材料，避免了椭偏光额外的振幅和相位变化。样品室旋盖采用螺纹结构，既可以使不同尺寸的样品以固定样品室，保证良好导热效，又可以与变温台保持相对固定，变温台通过绝热转接板固定于可调节样品台之上，保证了样品在三维空间内的定位精度。温过程中，可通过可调节样品台二次微调样品空间位置，使光路准直、信号强度达到最大，本发明实现了不同尺寸样品、不同气氛中，-190至500℃连续变温环境下，装置结构精巧，操作方便。 | ||
| 申请公布号 | CN103645135B | 申请公布日期 | 2016.02.24 |
| 申请号 | CN201310530145.8 | 申请日期 | 2013.10.31 |
| 申请人 | 清华大学 | 发明人 | 席小庆;周济;傅晓建 |
| 分类号 | G01N21/01(2006.01)I;G01N21/21(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/01(2006.01)I |
| 代理机构 | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人 | 贾玉健 |
| 主权项 | 一种调控椭偏仪温度场的装置，其特征在于，由变温台(5)、柔性密封装置(7)、绝热转接板(4)及温度控制系统(20)组成，待测试样品(6)固定于变温台(5)的样品室(22)内，变温台(5)通过绝热转接板(4)固定于可调节样品台(9)之上，变温测试时，变温台(5)与可调节样品台(9)完全置于柔性密封装置(7)内；所述的变温台(5)采用传导式导热设计，样品室(22)位于制冷单元(21)与加热单元(13)之间，样品室(22)采用嵌入式舱体设计，样品室(22)设置有旋盖(10)，旋盖(10)中心位置预留无介质孔洞窗口(11)，样品室(22)上方的制冷单元(21)采用内嵌通道式封闭夹层设计，样品室(22)下方的加热单元(13)由发热体(14)与中心传热体(15)组成，发热体(14)外包覆耐热绝缘涂层，样品室(22)的侧面预留插孔插有热电偶(12)；所述的温度控制系统(20)包括与热电偶(12)相连接的温控仪(18)，温控仪(18)另外与低温电磁阀(16)控制端及可控硅执行器(19)控制端相连，低温电磁阀(16)两个机械端口分别连接制冷单元(21)和自增压液氮罐(17)。 | ||
| 地址 | 100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室 | ||