| 发明名称 | 一种硅片上下料装置 | ||
| 摘要 | 一种硅片上下料装置，其包括硅片盒、石墨舟、机架、硅片盒输送机构、硅片盒升降机构、第一输送线、第一储料中转机构、取片机械手，硅片盒输送机构、硅片盒升降机构、第一输送线、第一储料中转机构、取片机械手依次设置在机架上，硅片盒经硅片盒输送机构送至硅片盒升降机构上，并由第一输送线将硅片盒上的硅片输送到第一储料中转机构，再由取片机械手将硅片取出，放置在石墨舟内。本实用新型的优点在于：能够自动硅片的自动上下，既提高了硅片的移动效率，又防止了移动后硅片质量的下降。 | ||
| 申请公布号 | CN205050814U | 申请公布日期 | 2016.02.24 |
| 申请号 | CN201520524820.0 | 申请日期 | 2015.07.20 |
| 申请人 | 宁波精达成形装备股份有限公司 | 发明人 | 郑良才 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 宁波天一专利代理有限公司 33207 | 代理人 | 徐良江 |
| 主权项 | 一种硅片上下料装置，其特征在于：包括硅片盒、石墨舟、机架、硅片盒输送机构、硅片盒升降机构、第一输送线、第一储料中转机构、取片机械手，硅片盒输送机构、硅片盒升降机构、第一输送线、第一储料中转机构、取片机械手依次设置在机架上，硅片盒经硅片盒输送机构送至硅片盒升降机构上，并由第一输送线将硅片盒上的硅片输送到第一储料中转机构，再由取片机械手将硅片取出，放置在石墨舟内。 | ||
| 地址 | 315033 浙江省宁波市江北区洪塘镇长阳路191号 | ||