用纳米/微球光刻制造纳米/微线太阳能电池

摘要

提供用于制造基于纳米线/微线的太阳能电池的技术。在一个方面中，提供用于制造太阳能电池的方法。该方法包括以下步骤。提供掺杂衬底。在该衬底上沉积单层球体。该球体包括纳米球、微球或其组合。修整该球体以在单层中的单独球体之间引入空间。修整后的球体被用作掩模以对该衬底中的接线进行图案化。该接线包括纳米线、微线或其组合。在图案化的接线上形成掺杂发射极层。在该发射极层之上沉积顶部接触电极。在该衬底的与该接线相反的一侧上沉积底部接触电极。

主权项

一种用于制造太阳能电池的方法，包括如下步骤：提供掺杂衬底；在所述衬底上沉积单层球体，所述球体包括纳米球、微球或其组合，其中所述球体在其表面上包括至少一种官能团；利用与所述球体的所述表面上的官能团互补的基对其上沉积有所述单层球体的所述衬底的表面进行官能化，以增加所述球体与所述衬底之间的附着力；修整所述球体以在所述单层中的单独球体之间引入空间；使用修整后的球体作为掩模以对所述衬底中的接线进行图案化，所述接线包括纳米线、微线或其组合；在图案化的接线上并且在所述衬底上形成掺杂发射极层，从而所述掺杂发射极层与所述图案化的接线和所述衬底接触，其中所述发射极层通过主扩散形成，所述主扩散使用退火以将n型或p型掺杂剂从选自包括旋涂玻璃掺杂剂源和气相掺杂剂前体的组中的掺杂剂源扩散进入所述接线，并且其中所述接线的每个接线的一部分在执行所述主扩散之后存在于所述发射极层下方；在所述发射极层之上沉积顶部接触电极，其中所述顶部接触电极被形成为在所述发射极层之上的共形层；以及在所述衬底的与所述接线相反的一侧上沉积底部接触电极。