对准载物台

摘要

本发明提供一种对准载物台(10)具备：底板(11)；进行向直线X方向的推力的产生和引导的一个或者多个X方向推力产生引导机构(12)；设置在X方向推力产生引导机构(12)的上方的一对下部板(31)；与下部板(31)对应设置的一对上部板(33)；设置在下部板(31)与上部板(33)之间的一对旋转轴承(32)；Y方向推力产生引导机构(42)，其为进行向与直线X方向正交的直线Y方向的推力的产生和引导的机构，在设有一个X方向推力产生引导机构(12)时设置多个Y方向推力产生引导机构(42)，在设有多个X方向推力产生引导机构(12)时设置一个或者多个Y方向推力产生引导机构(42)；设置在Y方向推力产生引导机构(42)的上方的工作台板(51)。通过这样的结构，能够提供一种实现了紧凑化和组装的容易化的对准载物台。

主权项

一种对准载物台，其特征在于，具备：底板，其固定在基台上；一个或者多个X方向推力产生引导机构，该一个或者多个X方向推力产生引导机构为设置在所述底板上，进行向直线X方向的推力的产生和引导的机构，由直线驱动源和具备轨道导轨及移动块的至少一个直线引导装置构成，该直线驱动源由一个直线电动机构成；一对下部板，该一对下部板隔着设置在所述底板上的所述直线引导装置设置在所述X方向推力产生引导机构的上方，进行直线X方向上的水平移动；一对上部板，该一对上部板分别与所述一对下部板对应设置；一对旋转轴承，该一对旋转轴承通过设置在所述一对下部板与所述一对上部板各自的上下部板对之间，内圈或外圈的任意一方固定于所述下部板，并且内圈或外圈的任意另一方固定于所述上部板，而实现上部板相对于下部板的旋转θ方向上的相对自由运动；Y方向推力产生引导机构，其为设置在所述一对上部板的至少一个上部板的上方，且进行向与直线X方向正交的直线Y方向的推力的产生和引导的机构，由直线驱动源和具备轨道导轨及移动块的至少一个直线引导装置构成，该直线驱动源由一个直线电动机构成，并且，在设有一个所述X方向推力产生引导机构时设置多个所述Y方向推力产生引导机构，在设有多个所述X方向推力产生引导机构时设置一个或者多个所述Y方向推力产生引导机构；工作台板，其隔着设置在所述一对上部板的至少一个上部板的上方的所述直线引导装置设置在所述Y方向推力产生引导机构的上方，从而使载置于上表面的搭载物向直线X方向、直线Y方向移动及旋转θ方向转动。