基板处理装置、器件制造方法以及圆筒光罩

摘要

提供一种能够以高生产性来生产高质量基板的基板处理装置、器件制造方法以及光罩。具备：光罩支承部件，其在照明区域内以沿着按规定曲率弯曲成圆筒面状的第一面的方式支承光罩的图案；基板支承部件，其在投影区域内以沿着规定的第二面的方式支承所述基板；以及驱动机构，其以使光罩的图案向规定的扫描曝光方向移动的方式使光罩支承部件旋转，且以使基板向扫描曝光方向移动的方式使基板支承部件移动，光罩支承部件在将第一面的直径设为φ、将第一面在与扫描曝光方向正交的方向上的长度设为L的情况下，满足1.3≤L/φ≤3.8。

主权项

一种基板处理装置，具备投影光学系统，所述投影光学系统将来自配置于照明光的照明区域内的光罩的图案的光束投射至配置有基板的投影区域，所述基板处理装置的特征在于，具备：光罩支承部件，其在所述照明区域内以沿着按规定曲率弯曲成圆筒面状的第一面的方式支承所述光罩的图案；基板支承部件，其在所述投影区域内以沿着规定的第二面的方式支承所述基板；以及驱动机构，其以使所述光罩的图案向规定的扫描曝光方向移动的方式使所述光罩支承部件旋转，且以使所述基板向所述扫描曝光方向移动的方式使所述基板支承部件移动，所述光罩支承部件在将所述第一面的直径设为φ、将所述第一面在与所述扫描曝光方向正交的方向上的长度设为L的情况下，满足1.3≤L/φ≤3.8。