| 摘要 |
본 발명의 과제는 기판의 반송을 행하는 데 있어서, 기판에 파티클이 부착되는 것을 억제하여, 기판의 처리 시스템에서 제조되는 제품의 수율을 향상시키는 것이다. 기판 반송 장치는, 내부에 기판을 수용하고, 측면에 기판의 반입출구(98)가 형성된 기판 수용 용기(91)와, 기판 수용 용기 내(91)의 기판(W)의 이면을 향해 소정의 가스를 분사하는 가스 분사부(92)와, 가스 분사부(92)로부터 공급되는 상기 소정의 가스의 공급량을 조정하여 상기 기판 수용 용기 내(91)의 기판(W)을 소정의 높이로 제어하는 제어부(93)를 갖고 있다. |
