一种制备棒状多晶硅的装置

摘要

本实用新型实施例公开了一种制备棒状多晶硅的装置，该装置包括：三氯氢硅预热器、汽化器、氢气预热器、混合器、尾气换热器和还原炉，还原炉具有还原炉入口与还原炉出口；其中，尾气换热器与混合器相连，且同时与还原炉入口和还原炉出口相连，尾气换热器用于接收混合气体，并根据还原炉出口排放的尾气对第一混合气体进行加热，获得第二混合气体，并将第二混合气体通过还原炉入口传输给还原炉。由于还原炉将还原炉尾气通过还原炉出口传输给尾气换热器，使得尾气换热器能够通过还原炉尾气对将被送入还原炉进行还原反应的气体进行加热，提高了还原炉的热能利用率，从而提高了在制备多晶硅时的热能利用率，降低了制备多晶硅时的能耗。

主权项

一种制备棒状多晶硅的装置，其特征在于，所述装置包括：三氯氢硅预热器、汽化器、氢气预热器、混合器、尾气换热器和还原炉，所述还原炉具有还原炉入口与还原炉出口；其中，所述三氯氢硅预热器用于对液态三氯氢硅进行加热；所述汽化器与所述三氯氢硅预热器相连，用于将所述液态三氯氢硅加热为气态三氯氢硅；所述氢气预热器用于对氢气进行加热，获得加热后的氢气；所述混合器分别与所述汽化器和所述氢气预热器相连，用于将所述液态三氯氢硅和所述加热后的氢气进行充分混合，获得第一混合气体；所述尾气换热器与所述混合器相连，且同时与所述还原炉入口和所述还原炉出口相连，所述尾气换热器用于接收所述混合气体，并根据所述还原炉出口排放的尾气对所述第一混合气体进行加热，获得第二混合气体，并将所述第二混合气体通过所述还原炉入口传输给所述还原炉；所述还原炉通过所述还原炉入口和所述还原炉出口与所述尾气换热器相连，用于通过所述还原炉入口接收所述第二混合气体，以使得所述第二混合气体中的三氯氢硅在所述还原炉中还原为棒状多晶硅，并将所述第二混合气体反应后的还原炉尾气通过所述还原炉出口传输给所述尾气换热器。