| 发明名称 | 一种射频电源接入器 | ||
| 摘要 | 本发明涉及电气设备，公开了一种射频电源接入器，以提高射频电源发生器向PECVD设备的有效输出功率。一种射频电源接入器，包括：两个条形导电板，用于电连接化学气相沉积PECVD设备的射频电源输入端的第一条形汇接板；以及用于电连接射频电源发生器的射频电源输出端的第二条形汇接板；其中：所述第一条形汇接板的两端分别连接一个条形导电板的一端，所述第二条形汇接板的两端分别电连接一个条形导电板的另一端。 | ||
| 申请公布号 | CN103794895B | 申请公布日期 | 2016.02.24 |
| 申请号 | CN201210424106.5 | 申请日期 | 2012.10.30 |
| 申请人 | 新奥光伏能源有限公司 | 发明人 | 徐湛;苗为民;王青海 |
| 分类号 | H01R13/00(2006.01)I;H01R13/02(2006.01)I;H01R31/06(2006.01)I | 主分类号 | H01R13/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人 | 黄志华 |
| 主权项 | 一种射频电源接入器，其特征在于，包括：两个条形导电板，用于电连接化学气相沉积PECVD设备的射频电源输入端的第一条形汇接板；以及用于电连接射频电源发生器的射频电源输出端的第二条形汇接板；其中：两个条形导电板相对设置，所述第一条形汇接板的两端分别连接两个条形导电板的一端，所述第二条形汇接板的两端分别电连接两个条形导电板的另一端。 | ||
| 地址 | 065001 河北省廊坊市经济技术开发区华祥路106号 | ||