多层线路板对准度检测方法

摘要

本发明涉及一种多层线路板对准度检测方法，用于检测多层线路板的对准度，多层线路板包括层叠设置的多个线路板，多层线路板对准度检测包括如下步骤：将多个线路板之一设为基准板，基准板上设有第一检测图案，并将多个线路板之另一设为检测板，检测板上设有第二检测图案；用X射线检测检测板上的第二检测图案相对基准板上的第一检测图案的偏移量，得到层间对准度。上述多层线路板对准度检测方法，通过X射线直接检测层叠设置的基准板与检测板上对应的部分重叠的第一检测图案与第二检测图案，即可得到第一检测图案相对第二检测图案的偏移量，从而得到层间对准度，而无需对多层线路板进行切片等操作，从而缩短了检测时间，具有较高的检测效率。

主权项

一种多层线路板对准度检测方法，用于检测多层线路板的对准度，所述多层线路板包括层叠设置的多个线路板，其特征在于，所述多层线路板对准度检测包括如下步骤：将所述多个线路板之一设为基准板，所述基准板上设有第一检测图案，并将所述多个线路板之另一设为检测板，所述检测板上设有第二检测图案；用X射线检测所述检测板上的所述第二检测图案相对所述基准板上的所述第一检测图案的偏移量，得到层间对准度。