多辊多室卷绕镀膜装置

摘要

本发明公开一种多辊多室卷绕镀膜装置，包括多个相互独立的真空室，多个真空室包括放卷室、收卷室和至少一个镀膜室，放卷室和收卷室分别设于镀膜室的两侧，任意两个相邻的真空室之间设有真空锁；镀膜室内设有呈上下分布的多个水冷鼓，每个水冷鼓的一侧至少分布有两个溅射靶，每个溅射靶外周设有靶罩，靶罩底部与水冷鼓表面之间设有供卷绕基材通过用的间隙，每个靶罩内形成独立的溅射室。本发明实现相邻镀膜室内的镀膜工艺完全隔离，可根据膜层数量和膜层种类的不同而对镀膜室进行设置，在一个工作周期内完成多层复合膜的镀制，也实现了溅射区域间的气氛隔离，避免串气现象，从而提高产品质量。

主权项

多辊多室卷绕镀膜装置，其特征在于，包括多个相互独立的真空室，多个真空室包括放卷室、收卷室和至少一个镀膜室，放卷室和收卷室分别设于镀膜室的两侧，任意两个相邻的真空室之间设有真空锁；镀膜室内设有呈上下分布的多个水冷鼓，每个水冷鼓的一侧至少分布有两个溅射靶，每个溅射靶外周设有靶罩，靶罩底部与水冷鼓表面之间设有供卷绕基材通过用的间隙，每个靶罩内形成独立的溅射室。