| 发明名称 | 复合结构的制造工艺 | ||
| 摘要 | 本发明涉及复合结构的制造工艺，其包括下列步骤：a)提供包括第一表面(20)的施主衬底(10)以及支撑衬底(30)；b)在施主衬底(10)中形成断开区(40)，所述断开区(40)与施主衬底(10)的第一表面(20)共同界定了有用层(50)；c)组装支撑衬底(30)与施主衬底(10)；d)使施主衬底在断开区断裂；e)减薄有用层(50)从而形成减薄了的有用层(51)。步骤b)的进行使得有用层(50)具有被设计为补偿在步骤e)期间的有用层(50)的消耗的非均匀性的厚度分布。 | ||
| 申请公布号 | CN105358474A | 申请公布日期 | 2016.02.24 |
| 申请号 | CN201480036456.1 | 申请日期 | 2014.06.17 |
| 申请人 | SOITEC公司 | 发明人 | N·本 穆罕默德;E·梅兹 |
| 分类号 | B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人 | 程伟;王锦阳 |
| 主权项 | 一种复合结构的制造工艺，包括下列步骤：a)提供施主衬底(10)和支撑衬底(30)，所述施主衬底包括第一表面(20)；b)在施主衬底(10)中形成弱化区(40)，所述弱化区(40)与施主衬底(10)的第一表面(20)一起界定了工作层(50)；c)组装支撑衬底(30)与施主衬底(10)；d)使施主衬底沿着弱化区断裂，从而将工作层(50)转移到支撑衬底(30)上；e)减薄工作层(50)以形成减薄了的工作层(51)，所述减薄消耗了工作层(50)的非均匀的厚度；所述制造工艺的特征在于，步骤b)的进行使得转移至支撑衬底(20)上的工作层(50)在步骤d)结束时显示出这样的厚度分布，所述厚度分布适于至少部分地补偿在步骤e)期间的工作层(50)的消耗的非均匀性，减薄了的工作层(51)在全部步骤结束时在厚度上是基本均匀的。 | ||
| 地址 | 法国贝尔尼 | ||