发明名称 |
一种新型热蒸发镀膜器及其使用方法 |
摘要 |
本发明公开了一种新型热蒸发镀膜器,其特征在于:圆台式垂直筒(304)下端连接支架(309),放置于镀膜器底盘上,圆台式垂直筒(304)下口直径大于挡板(305)直径及钨舟(307)的长度。通过对现有的热蒸发镀膜器进行改进,增加圆台式垂直筒,一是可以增大蒸发源的利用率和沉积速度;二是减少仓体污染,减轻实验人员清仓时工作量,为使用热蒸发进行研究性实验的学者提供便利;三是该垂直筒结构简单,使用方便,不用对现有仪器做任何修改即可达到目的。 |
申请公布号 |
CN105349948A |
申请公布日期 |
2016.02.24 |
申请号 |
CN201510877405.8 |
申请日期 |
2015.12.04 |
申请人 |
贵州大学 |
发明人 |
谢泉;吴宏仙;张晋敏;廖杨芳;房迪;王善兰;刘小军;梁枫;肖清泉;陈茜 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 |
贵阳中新专利商标事务所 52100 |
代理人 |
吴无惧 |
主权项 |
一种新型热蒸发镀膜器,其特征在于:圆台式垂直筒(304)下端连接支架(309),放置于镀膜器底盘上,圆台式垂直筒(304)下口直径大于挡板(305)直径及钨舟(307)的长度。 |
地址 |
550025 贵州省贵阳市贵州大学花溪北校区科技处 |