发明名称 |
一种发光表面有周期性图案的高光效倒装LED的制作方法 |
摘要 |
一种发光表面有周期性图案的高光效倒装LED的制作方法,涉及LED生产技术领域,本发明通过在硅衬底上蒸镀AlN,然后刻蚀出图形,再在图形上生长氮化物材料,最终做成倒装的LED器件且剥离掉硅衬底,使背发射LED芯片达到了提高出光效率的效果。 |
申请公布号 |
CN105355728A |
申请公布日期 |
2016.02.24 |
申请号 |
CN201510774057.1 |
申请日期 |
2015.11.13 |
申请人 |
厦门乾照光电股份有限公司 |
发明人 |
卓祥景;陈凯轩;林志伟;姜伟;方天足;张永;刘碧霞 |
分类号 |
H01L33/00(2010.01)I;H01L33/12(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/00(2010.01)I |
代理机构 |
扬州市锦江专利事务所 32106 |
代理人 |
江平 |
主权项 |
一种发光表面有周期性图案的高光效倒装LED的制作方法,包括在Si衬底上制作外延层,并制作电极,然后将具有电极的器件倒装在永久基板上,并去除Si衬底;其特征在于先在Si衬底上蒸镀AlN薄膜,并在AlN薄膜上刻蚀出周期性图形,所述周期性图形的凹槽部分为Si 衬底,凸起部分为AlN薄膜,然后再制作外延层;所述外延层中的合并层中具有孔洞,各孔洞一一对应于所述具有周期性图形的凹槽部分;在去除Si衬底时,采用由等体积的HF、HNO<sub>3</sub>和CH<sub>3</sub>COOH混合组成的溶液,露出AlN薄膜和AlGaN层交替的周期图形表面。 |
地址 |
361000 福建省厦门市火炬(翔安)产业区翔岳路19号 |