| 摘要 |
Es wird ein Verfahren zur Abbildung einer Probe mittels eines Mikroskops, das eine Beleuchtungseinheit, eine Abbildungsoptik und einen Bildsensor aufweist, bereitgestellt, wobei zur Abbildung folgende Schritte ausgeführt werden:
a) ein Bereich der Probe wird mittels der Beleuchtungseinheit mit Beleuchtungsstrahlung beleuchtet und
b) der beleuchtete Probenbereich wird mittels der Abbildungsoptik vergrößert auf den Bildsensor abgebildet und ein Bild des beleuchteten Probenbereiches wird mit einer vorbestimmten Anzahl von Bildpixeln aufgenommen,
wobei,
c) eine Mehrzahl von unterschiedlichen Bereichen einer oder mehrerer Vergleichsproben bereitgestellt wird,
d) an jedem im Schritt c) bereitgestellten Vergleichsprobenbereich eine Referenzmessung durchgeführt wird, wobei jeweils der Vergleichsprobenbereich mittels der Beleuchtungseinheit mit Beleuchtungsstrahlung beleuchtet und mittels der Abbildungsoptik vergrößert auf den Bildsensor abgebildet und als Referenzbild mit der vorbestimmten Anzahl von Bildpixeln aufgenommen wird,
e) ein Helligkeitskorrekturbild mit der vorbestimmten Anzahl von Bildpixeln ermittelt wird, in dem der Wert für jedes Bildpixel des Helligkeitskorrekturbildes aus den Werten von zugeordneten Bildpixeln der Referenzbilder ermittelt wird, und
f) das mittels der Schritte a) und b) aufgenommene Bild des Bereiches der Probe basierend auf dem Helligkeitskorrekturbild korrigiert und als korrigiertes Bild ausgegeben wird. |
