发明名称 | 一种太阳能电池表面的二次腐蚀制绒工艺 | ||
摘要 | 一种太阳能电池表面的二次腐蚀制绒工艺,包括如下步骤:步骤1:将硅片置于富HNO<sub>3</sub>的HF和HNO<sub>3</sub>的混合溶液中进行一次腐蚀;步骤2:将一次腐蚀后的硅片置于NaOH溶液中浸泡;步骤3:使用去离子水对经步骤2浸泡后的硅片进行冲洗;步骤4:将硅片置于富HF的HF和HNO<sub>3</sub>的混合溶液中进行二次腐蚀;步骤5:将二次腐蚀后的硅片置于NaOH溶液中浸泡,去除多孔硅;步骤6:用大量去离子水对经步骤5浸泡后的硅片进行冲洗,烘干;步骤7:将硅片置于HF和HCL的混合溶液中浸泡,去除氧化层和金属离子;步骤8:将硅片用去离子水冲洗干净后烘干。使用本发明首先在富HNO<sub>3</sub>体系中对硅片进行一次腐蚀,再在富HF体系中进行二次腐蚀,不但能够节约成本,而且制绒均匀稳定。 | ||
申请公布号 | CN103400901B | 申请公布日期 | 2016.02.24 |
申请号 | CN201310348986.7 | 申请日期 | 2013.08.12 |
申请人 | 江苏宇兆能源科技有限公司 | 发明人 | 汪昭辉;郭文林;庞益静;张盛杰;杨健;张旭 |
分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 初学平 |
主权项 | 一种太阳能电池表面的二次腐蚀制绒工艺,其特征在于,采用HF和HNO<sub>3</sub>的混合溶液对硅片进行两次各向同性腐蚀,包括如下步骤:步骤1:将硅片置于富HNO<sub>3</sub>的HF和HNO<sub>3</sub>的混合溶液中进行一次腐蚀,其中HF和HNO<sub>3</sub>的混合溶液配比为1:7≤HF:HNO<sub>3</sub>≤1:3,腐蚀温度:15‑25℃,腐蚀时间:1—4分钟;步骤2:将一次腐蚀后的硅片置于NaOH溶液中浸泡,其中NaOH溶液的浓度小于1%,浸泡时间为20—50秒;步骤3:使用去离子水对经步骤2浸泡后的硅片进行冲洗;步骤4:将硅片置于富HF的HF和HNO<sub>3</sub>的混合溶液中进行二次腐蚀,其中HF和HNO<sub>3</sub>的混合溶液配比为80:1≤HF:HNO<sub>3</sub>≤30:1,腐蚀温度:15‑25℃,腐蚀时间:2—5分钟;步骤5:将二次腐蚀后的硅片置于NaOH溶液中浸泡,其中NaOH溶液的浓度小于1%,浸泡时间为20—50秒,去除多孔硅;步骤6:用去离子水对经步骤5浸泡后的硅片进行冲洗,烘干;步骤7:将硅片置于HF和HCL的混合溶液中浸泡,去除氧化层和金属离子;步骤8:将硅片用去离子水冲洗干净后烘干。 | ||
地址 | 215431 江苏省苏州市太仓市浏河镇福海路8号 |