薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板、显示装置

摘要

本发明提供了一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板、显示装置，该薄膜晶体管包括基底以及设置在所述基底上的氧化物半导体层、栅极绝缘层、栅极、源极和漏极，所述薄膜晶体管还包括凹槽，所述氧化物半导体层设置在所述凹槽中。本发明提供的薄膜晶体管，其中的氧化物半导体层可以采用溶液制程法制作，当对氧化物半导体层的前驱体溶液进行退火时，利用凹槽外的溶液向凹槽内流动的倾向性，对凹槽中溶液的收缩提供补给，使凹槽中形成的膜层不易产生气泡，并且通过设置凹槽，可以增大氧化物半导体层的附着力，防止氧化物半导体层变形脱落。

主权项

一种薄膜晶体管，包括基底以及设置在所述基底上的氧化物半导体层、栅极绝缘层、栅极、源极和漏极，其特征在于，所述薄膜晶体管还包括凹槽，所述氧化物半导体层设置在所述凹槽中。