发明名称 |
ANNULAR COOLING FLUID PASSAGE FOR MAGNETS |
摘要 |
환형 냉각제 유체 통로를 갖는 자석이 전반적으로 설명된다. 다양한 예들은 거기를 관통하는 개구를 갖는 이온 빔 커플러 주위에 배치된 제 1 자석 및 제 2 자석을 포함하는 자석을 제공한다. 제 1 및 제 2 자석들의 각각은 그 안에 캐비티를 갖는 금속 코어, 금속 코어 둘레에 배치되는 하나 이상의 전도성 와이어 랩들, 및 캐비티 내에 삽입되도록 구성된 환형 코어 엘러먼트를 포함하며, 환형 냉각제 유체 통로는 캐비티와 환형 코어 엘러먼트 사이에 형성된다. 또한, 각각의 환형 코어 엘러먼트는 제 1 직경을 가질 수 있으며 및 제 2 직경을 갖는 중간 섹션을 가질 수 있고, 제 2 직경은 제 1 직경보다 더 작다. 다른 실시예들이 개시되고 청구된다. |
申请公布号 |
KR20160021204(A) |
申请公布日期 |
2016.02.24 |
申请号 |
KR20167000777 |
申请日期 |
2014.06.13 |
申请人 |
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. |
发明人 |
BARRACLOUGH SCOTT;BUFF JAMES S. |
分类号 |
H01F7/20;H01F27/10;H01J37/147;H01J37/30;H01J37/317;H05K7/20 |
主分类号 |
H01F7/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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