发明名称 ANNULAR COOLING FLUID PASSAGE FOR MAGNETS
摘要 환형 냉각제 유체 통로를 갖는 자석이 전반적으로 설명된다. 다양한 예들은 거기를 관통하는 개구를 갖는 이온 빔 커플러 주위에 배치된 제 1 자석 및 제 2 자석을 포함하는 자석을 제공한다. 제 1 및 제 2 자석들의 각각은 그 안에 캐비티를 갖는 금속 코어, 금속 코어 둘레에 배치되는 하나 이상의 전도성 와이어 랩들, 및 캐비티 내에 삽입되도록 구성된 환형 코어 엘러먼트를 포함하며, 환형 냉각제 유체 통로는 캐비티와 환형 코어 엘러먼트 사이에 형성된다. 또한, 각각의 환형 코어 엘러먼트는 제 1 직경을 가질 수 있으며 및 제 2 직경을 갖는 중간 섹션을 가질 수 있고, 제 2 직경은 제 1 직경보다 더 작다. 다른 실시예들이 개시되고 청구된다.
申请公布号 KR20160021204(A) 申请公布日期 2016.02.24
申请号 KR20167000777 申请日期 2014.06.13
申请人 VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. 发明人 BARRACLOUGH SCOTT;BUFF JAMES S.
分类号 H01F7/20;H01F27/10;H01J37/147;H01J37/30;H01J37/317;H05K7/20 主分类号 H01F7/20
代理机构 代理人
主权项
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