| 摘要 |
(과제) 폐기되는 도포액의 양을 저감하면서, 도포 효율을 향상하는 기술을 제공한다. (해결 수단) 복수의 노즐(31)은, 주주사 방향으로 소정의 간격을 두고 배열된 제1 노즐군(31A)과, 상기 제1 노즐군(31A)에 대해, 기판(9)의 주면에 평행하고, 부주사 방향으로 간격을 두고 배열된 제2 노즐군(31B)을 포함한다. 피치 조정 기구(3)는, 제1 노즐군(31A)의 노즐(31)을 유지하는 슬라이드 피스(32A), 제2 노즐군(31B)의 노즐군의 노즐(31)을 유지하는 슬라이드 피스(32B), 부주사 방향의 일방측으로부터 슬라이드 피스(32A, 32B)에 맞닿는 로드(352)와, 부주사 방향의 타방측으로부터 슬라이드 피스(32A, 32B)를 로드(352)로 탄성가압하는 노즐 탄성가압 기구(34) 및 로드(352)의 부주사 방향의 위치를 조정하는 구동 기구(351)를 구비하고 있다. |
