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发明名称 Thermal Expansion Insensitive XY Piezo Manipulator.
摘要
申请公布号 NL1040793(B1) 申请公布日期 2016.02.23
申请号 NL20141040793 申请日期 2014.05.06
申请人 JANSSEN PRECISION ENGINEERING;IR. HUBERTUS LEONARDUS MATHIAS MARIE JANSSEN 发明人 IR. HUBERTUS LEONARDUS MATHIAS MARIE JANSSEN;IR. BARTHOLOMEUS CATHARINA THOMAS VAN BREE;IR. MAURICE ANTON JACQUES TEUWEN
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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