| 摘要 |
본 발명의 잉곳성장장치는 종자결정을 이용하여 석영도가니에 수용된 실리콘 융액으로부터 잉곳을 성장하는 장치로서, 챔버; 상기 챔버 내부에 배치되어, 상기 실리콘 융액을 수용하는 석영도가니; 상기 석영도가니에 열 에너지를 전달하는 히터부; 상기 종자결정을 상기 실리콘 융액에 침지시키고 회전 및 인상하여 인곳을 성장시키는 승강 케이블; 상기 석영도가니의 상측에 배치되고, 상기 실리콘 융액의 열을 외부와 차단하는 단열수단으로, 성장되는 잉곳이 통과하는 홀을 구비한 열차폐체; 및 상기 열차폐체의 상측에 장착되어, 상기 홀의 크기를 조절하는 넥 커버; 를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 잉곳성장장치는 고품질의 대구경 잉곳을 안정적으로 생산할 수 있는 장점이 있다. |
