发明名称 静电防护元件及其制造方法
摘要 明提出一种静电防护元件及其制造方法,静电防护元件包含:P型井区、闸极、N型源极、N型汲极、以及P型轻掺杂汲极。其中,P型轻掺杂汲极形成于P型井区中,由上视图视之,部分P型轻掺杂汲极位于闸极间隔层下方,以降低该静电防护元件之触发电压。
申请公布号 TWI523187 申请公布日期 2016.02.21
申请号 TW102125763 申请日期 2013.07.18
申请人 立錡科技股份有限公司 发明人 黄宗义;廖文毅
分类号 H01L23/60(2006.01) 主分类号 H01L23/60(2006.01)
代理机构 代理人 任秀妍
主权项 一种静电防护元件,形成于一半导体基板中,该半导体基板具有一上表面,该静电防护元件包含:一P型井区,形成于该上表面下;一闸极,形成于该上表面上,且部分该P型井区位于该闸极下方;一N型源极,形成于该上表面下之该P型井区中,由上视图视之,该N型源极位于该闸极一侧之外;一N型汲极,形成于该上表面下之该P型井区中,由上视图视之,该N型汲极位于该闸极另一侧之外;其中,该闸极将该N型源极与该N型汲极分开,该闸极包括:一介电层,形成于该上表面上,与该上表面连接;一堆叠层,形成于该介电层上,用以作为该闸极电性接点;以及一间隔层,形成于该堆叠层之侧壁外之该上表面上;以及一第一P型轻掺杂汲极,形成于该上表面下之该P型井区中,由上视图视之,部分该第一P型轻掺杂汲极位于该间隔层下方;其中该第一P型轻掺杂汲极与该N型汲极形成一PN接面,该PN接面为该静电防护元件接触静电的电压时,开始发生崩溃的位置,以触发该静电防护元件而引发释放静电程序。
地址 新竹县竹北市台元街20号5楼