主权项 |
一种静电防护元件,形成于一半导体基板中,该半导体基板具有一上表面,该静电防护元件包含:一P型井区,形成于该上表面下;一闸极,形成于该上表面上,且部分该P型井区位于该闸极下方;一N型源极,形成于该上表面下之该P型井区中,由上视图视之,该N型源极位于该闸极一侧之外;一N型汲极,形成于该上表面下之该P型井区中,由上视图视之,该N型汲极位于该闸极另一侧之外;其中,该闸极将该N型源极与该N型汲极分开,该闸极包括:一介电层,形成于该上表面上,与该上表面连接;一堆叠层,形成于该介电层上,用以作为该闸极电性接点;以及一间隔层,形成于该堆叠层之侧壁外之该上表面上;以及一第一P型轻掺杂汲极,形成于该上表面下之该P型井区中,由上视图视之,部分该第一P型轻掺杂汲极位于该间隔层下方;其中该第一P型轻掺杂汲极与该N型汲极形成一PN接面,该PN接面为该静电防护元件接触静电的电压时,开始发生崩溃的位置,以触发该静电防护元件而引发释放静电程序。
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