用以加热用于晶圆支撑系统之转换层的经光学地调谐金属化的光

摘要

明系一种层叠体，该层叠体包含一基板、经定位邻近于该基板之一接合层、经定位邻近于该接合层之一光热转换层及经定位邻近于该光热转换层之一光透射支撑件。该光热转换层包含一金属吸收层。

主权项

一种层叠体，其包括：一基板；一接合层，其经定位邻近于该基板；一光热转换层，其经定位邻近于该接合层，其中该光热转换层包括一金属吸收层且在具有辐射能量之辐照时分解；及一光透射支撑件，其经定位邻近于该光热转换层。