雷射光线之光点形状检测方法

摘要

明提供一种可准确地检测出雷射光线之光点形状及聚光点位置(焦点距离)之雷射光线之光点形状检测方法。

主权项

一种雷射光线之光点形状检测方法，其系检测由雷射光线振荡机构振荡且藉由聚光器聚光之雷射光线之光点形状者，其特征在于包括：检测基板保持步骤，其系将检测基板保持于可朝X轴方向及Y轴方向移动之平台之保持面，且该检测基板包含由照射雷射光线则发光之微小粒子所构成之发光体；雷射光线照射步骤，其系将由该雷射光线振荡机构振荡且无法对该检测基板及该发光体进行加工之第1输出之雷射光线藉由该聚光器聚光而照射至保持于该平台之该检测基板之该发光体所处之区域；光强度检测步骤，其系于对保持于该平台之该检测基板之该发光体所处之区域照射了雷射光线之状态下，使该平台相对于该聚光器沿X轴方向及Y轴方向相对移动，并且藉由光检测器检测由该发光体发出之光之光强度；光强度图制成步骤，其系制成该光强度检测步骤中所检测出之该发光体之x,y座标值上的光强度图；以及光点形状图像形成步骤，其系将该聚光器定位于与该平台保持面垂直之Z轴方向上之复数个检测位置而实施该光强度检测步骤及该光强度图制成步骤，且基于该光强度图制成步骤中所制成之复数个光强度图而制成雷射光线之光点形状图像。