改善气体流的喷头支撑结构

摘要

明的实施例大致上提供用以支撑一气体散布喷头于制程腔室中的设备与方法。在一实施例中，提供一种用于一真空腔室的气体散布喷头。该气体散布喷头包含：一主体，该主体具有一第一侧与一第二侧以及复数个气体通道，该第二侧和该第一侧相对，该复数个气体通道形成为穿过该主体，该等气体通道包含形成在该第一侧中的一第一孔洞，该第一孔洞藉由一限缩孔口流体地耦接到一第二孔洞，该第二孔洞形成在该第二侧中；及一悬置特征结构，该悬置特征结构形成在该等气体通道的至少一气体通道的该第一孔洞中。

主权项

一种用于一真空腔室的气体散布喷头，该气体散布喷头包含：一主体，该主体具有一第一侧与一第二侧以及复数个气体通道，该第二侧和该第一侧相对，该复数个气体通道于纵向上形成为穿过该主体，该等气体通道的各者包含形成在该第一侧中的一第一孔洞，该第一孔洞藉由一限缩孔口流体地耦接到一第二孔洞，该第二孔洞形成在该第二侧中；一或更多个替代气体通道，该一或更多个替代气体通道以相对于该纵向的该复数个气体通道呈一倾斜角度而形成为穿过该主体，且和该复数个气体通道的至少一第一孔洞相交；及一悬置特征结构，该悬置特征结构设置在该复数个气体通道的一气体通道中以促进一堵塞气体通道，其中该一或更多个替代气体通道提供从该主体的该第一侧到至少该堵塞气体通道的一流动路径。