晶圆放置盘

摘要

晶圆放置盘，包括有本体、复数容置槽及复数限位件。本体具有一上表面及一下表面。复数容置槽位于本体之上表面，各容置槽用以容置晶圆。复数限位件位于本体之下表面，限位件用以在两块晶圆放置盘上下叠置时，对应卡入各容置槽中，以减少各晶圆于各容置槽内可活动之空间。

主权项

一种晶圆放置盘，用以放置复数晶圆，该晶圆放置盘包括：一本体，具有一上表面及一下表面，其中该上表面与该下表面上下相对应；复数容置槽，位于该上表面，用以容置该复数晶圆；以及复数限位件，位于该下表面，用以在两块晶圆放置盘上下叠置时，对应卡入各该容置槽中，以减少各该晶圆于各该容置槽内可活动的空间。