用于对载台决定转换偏移及用于决定补偿图之方法

摘要

移动器组件(220C)的移动器(250A)之转换偏移的方法，该组件相对于载台基底(220B)而移动和定位载台(220A)，该方法包括以闭路方式来控制移动器组件(220C)，以沿着第一轴和沿着第二轴来维持载台(220A)的位置而使载台(220A)升高于载台基底(220B)上。该方法也包括以下步骤：(i)指使电流到移动器组件(220C)的线圈阵列(240)，如此则移动器组件(220C)赋予扰动于载台(220A)上；以及(ii)评估由于移动器(250A)产生载台(220A)扰动的结果而由移动器组件(220C)所产生的一或更多个力。再者，产生补偿图(1402)的方法包括：依序指使多个激发讯号至移动器组件(220C)的控制；以及决定起因于多个激发讯号的控制命令。

主权项

一种移动器组件，其相对于载台基底而移动和定位载台，该移动器组件包括：第一移动器，其相对于载台基底而移动和定位载台，该第一移动器产生沿着第一轴而移动和定位载台的第一轴力，以及产生沿着正交于第一轴且垂直指向的第二轴而移动和定位载台的第二轴力，第一移动器包括线圈阵列和磁铁阵列；以及控制系统，其在以闭路方式来控制移动器组件以沿着第一轴和沿着第二轴而维持载台位置的同时，决定了第一移动器的转换偏移，该控制系统：(i)指使电流到线圈阵列，如此则第一移动器赋予扰动于载台上，并且使用移动器组件而使载台升高于载台基底上；以及(ii)评估由于第一移动器产生之载台扰动的结果而由移动器组件所产生的一或更多个力。