主权项 |
一种多晶晶碇的切割方法,包含:一步骤(A):制备一坩埚,该坩埚具有一个底壁及一个围绕该底壁的一周缘并与该底壁共同界定出一个容室的周壁,该底壁具有一个二维的平台区阵列,该二维的平台区阵列具有多数个第一平台区及多数个第二平台区,该等第一平台区与该等第二平台区是沿一第一方向依序轮流设置并沿一第二方向依序轮流设置,每相邻第一平台区与第二平台区间共同界定出一切割线段,该等切割线段定义出多数条沿该第一方向延伸的第一开方线,及多数条沿该第二方向延伸的第二开方线,且各第一平台区与各第二平台区沿该底壁的一厚度方向分别具有一第一厚度T1与一第二厚度T2,T1>T2;一步骤(B):融熔填入于该容室中的一起始原料使成为一熔汤;一步骤(C):定向凝固该熔汤使成为一多晶晶碇,并于该多晶晶碇底部转写有该二维的平台区阵列、该等第一开方线及该等第二开方线;及一步骤(D):沿该等第一开方线与第二开方线纵向切割该多晶晶碇以成多数晶砖。
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