平台装置及平台控制系统

摘要

明的课题是即使不使用线性放大器，还是可利用泛用的伺服放大器来进行1nm水准的定位。
其解决手段系平台装置(3)具有：具有引导面的2个导轨(12)、及具有与引导面相对的被引导面，在导轨(12)被限制移动方向的滑块(13)、及产生滑块(13)的推力的线性马达(16)、及检测出滑块(13)的位置的线性标度(17)，引导面与被引导面的润滑状态系被控制成至少在一部分的区域成为包含境界润滑及流体润滑的两者的混合润滑状态，在其他的区域成为流体润滑状态。

主权项

一种平台装置，系使移动对象物移动至目标位置的平台装置(3；3A；3B；3D；3E；3F；3G；3H)，其特征系具备：导轨(12；12D；12E；12F)，其系具有引导面(12ua，12sa，19a；12ua，19a，12sa，19b；12ua，19a，19b；12Da，12Db，12Dc；19E1，19E2；19Fa，19Fb；19a，12da，12sa；12ua，12da，12sa，19a)；滑块(13，13D，13E，13F)，其系具有与前述引导面(12ua，12sa，19a；12ua，19a，12sa，19b；12ua，19a，19b；12Da，12Db，12Dc；19E1，19E2；19Fa，19Fb；19a，12da，12sa；12ua，12da，12sa，19a)相对的被引导面(20a，20b，21a；20a，21a，20b，21b；20a，21a，21b；13D1，13D2，13D3，13D4，13D5；21E1，21E2；21Fa，21Fb；21a，20a，20b；20a，20c，20b，21a)，在前述导轨(12；12D；12E；12F)被限制移动方向；驱动装置(16；16E；16F)，其系产生前述滑块(13，13D，13E，13F)的推力；及位置检测装置(17)，其系检测出前述滑块(13，13D，13E，13F)的位置，前述引导面(12ua，12sa，19a；12ua，19a，12sa，19b；12ua，19a，19b；12Da，12Db，12Dc；19E1，19E2；19Fa，19Fb；19a，12da，12sa；12ua，12da，12sa，
19a)与前述被引导面(20a，20b，21a；20a，21a，20b，21b；20a，21a，21b；13D1，13D2，13D3，13D4，13D5；21E1，21E2；21Fa，21Fb；21a，20a，20b；20a，20c，20b，21a)的润滑状态会被控制成至少在一部分的区域成为包含境界润滑及流体润滑的两者的混合润滑状态，在其他的区域成为流体润滑状态。