单体、高分子化合物、光阻材料及图案形成方法

摘要

明提供通式(1)表示之单体。

主权项

一种下列通式(1)表示之单体；

(式中，R1表示氢原子、甲基、或三氟甲基；R2表示氢原子或酸不稳定基)。