大面积奈米图案之金属印模复制的方法和制程

摘要

间聚合物印模获得金属印模的方法和制程包括以下步骤：提供第一压印层于第一聚合物层的顶端上、压印出结构以得到中间印模。如果压印的聚合物是非导电的，则导电层提供于结构的顶端上以得到种子层，再把金属镀在中间聚合物印模的顶端上以得到金属印模，然后从金属印模分开中间印模。本发明示范以高产率和低成本来复制印模。

主权项

一种从至少一中间印模来获得金属印模的方法，该金属印模具有相同于原版印模的结构，其包括以下步骤：-提供第一压印层于第一载体基板的顶端上；-使用原版印模而在第一压印层压印出结构以得到第一中间印模；-提供导电层于结构化之第一中间印模的顶端上以得到种子层；-把金属镀在种子层的顶端上以得到金属印模；以及-从金属印模分开第一中间印模，其中在该种子层金属化之前，形成氟碳化合物膜于该第一中间印模之上，以作为释放层。