超音波洗净装置及超音波洗净方法

摘要

一种超音波洗净装置及超音波洗净方法，系可防止喷射到被洗净物的端面之超音波传播水从被洗净物回弹等造成的再污染，有效洗净被洗净物的基板端面。具有连接于水柱喷水器对基板传导喷射超音波传播水之超音波导波管，超音波导波管系不位于基板上方设置，一面藉由基板的表面呈水平状态保持基板而可旋转之旋转保持部旋转基板，一面从超音波导波管对被配置在空间之基板构成外周的端面，由该端面的切线方向喷射超音波传播水。

主权项

一种超音波洗净装置，系将作为被洗净物的基板之外周的端面洗净，其特征为：前述基板呈圆盘形状，前述基板上具有一图案区域，前述超音波洗净装置具有前述基板的表面呈水平状态保持前述基板而可旋转之旋转保持部，一面藉由前述旋转保持部旋转前述基板，一面从一超音波导波管的前端部对被配置在空间的前述基板构成外周的端面喷射由该端面的切线方向施加过超音波的洗净液也就超音波传播水，前述超音波导波管的前端部朝前述超音波传播水的照射方向设置，前述超音波传播水的内侧的极限角度为前述超音波导波管的前端部，相对于切线，位于前述基板端，通过在前述图案区域的外周之垂直方向上假设的面，通过前述基板的端面的喷射位置之直线相对于切线形成，前述超音波传播水的外侧的极限角度为前述超音波导波管的前端部，相对于切线，与前述基板分开设置，通过在前述图案区域的外周之垂直方向上假设的面之直线相对于切线形成。