发明名称 | 焊垫结构及其制作方法 | ||
摘要 | 焊垫结构,包括:内连线结构以及覆盖隔离层。其中,内连线结构具有至少一个开口和至少一个金属焊垫。覆盖隔离层,位于内连线结构之上,并延伸覆盖开口的侧壁,而与金属焊垫接触,使一部份的金属焊垫由开口暴露于外。 | ||
申请公布号 | TWI523145 | 申请公布日期 | 2016.02.21 |
申请号 | TW100137173 | 申请日期 | 2011.10.13 |
申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 吴惠敏;王铭义;王冠宇;谢坤哲;黄建欣 |
分类号 | H01L21/768(2006.01);H01L27/04(2006.01);B81B7/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/768(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 郭晓文 | |
主权项 | 一种焊垫结构,包括:一内连线结构,具有至少一开口和至少一金属焊垫;以及一覆盖隔离层,位于该内连线结构之上,并延伸覆盖该开口的侧壁,而与该金属焊垫接触,使一部份该金属焊垫由该开口暴露于外。 | ||
地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 |