发明名称 焊垫结构及其制作方法
摘要 焊垫结构,包括:内连线结构以及覆盖隔离层。其中,内连线结构具有至少一个开口和至少一个金属焊垫。覆盖隔离层,位于内连线结构之上,并延伸覆盖开口的侧壁,而与金属焊垫接触,使一部份的金属焊垫由开口暴露于外。
申请公布号 TWI523145 申请公布日期 2016.02.21
申请号 TW100137173 申请日期 2011.10.13
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 吴惠敏;王铭义;王冠宇;谢坤哲;黄建欣
分类号 H01L21/768(2006.01);H01L27/04(2006.01);B81B7/00(2006.01) 主分类号 H01L21/768(2006.01)
代理机构 代理人 郭晓文
主权项 一种焊垫结构,包括:一内连线结构,具有至少一开口和至少一金属焊垫;以及一覆盖隔离层,位于该内连线结构之上,并延伸覆盖该开口的侧壁,而与该金属焊垫接触,使一部份该金属焊垫由该开口暴露于外。
地址 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号