发明名称 |
具有氮气回收系统的供水装置 |
摘要 |
型之具有氮气回收系统的供水装置具有一供给槽、一回收囊及一氮气源,该供给槽具有一第一侦测元件、一第二侦测元件、一水输入管及一水输出管,该第二侦测元件高度位置低于该第一侦测元件,该水输入管连通该供给槽及一外部去离子水源,该水输出管连通该供给槽,该回收囊连通该供给槽且具有一气囊感测器及一氮气往复管,该气囊感测器设置在该回收囊上,该氮气往复管连通该回收囊及该供给槽,该氮气源连通该回收囊,当氮气自该氮气往复管排出流入该回收囊中,并以该回收囊中的氮气回补至供给槽中,以此大幅节省氮气的使用量。 |
申请公布号 |
TWM517903 |
申请公布日期 |
2016.02.21 |
申请号 |
TW104218847 |
申请日期 |
2015.11.24 |
申请人 |
马定杰 |
发明人 |
马定杰 |
分类号 |
H01L21/302(2006.01);B08B3/04(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/302(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
桂齐恒;林景郁 |
主权项 |
一种具有氮气回收系统的供水装置,其包含: 一供给槽,其内部储存去离子水且具有一第一侦测元件、一第二侦测元件、一水输入管及一水输出管,该第一侦测元件设置在该供给槽上,该第二侦测元件设置在该供给槽上且高度位置低于该第一侦测元件,该水输入管连通该供给槽,且该水输入管选择性地从一外部去离子水源输入该去离子水于该供给槽中,该水输出管连通该供给槽并选择性地输出该去离子水; 一回收囊,其透过一氮气往复管连通该供给槽,且该回收囊上设有一气囊感测器以侦测该回收囊的氮气存量;以及 一氮气源,其透过一氮气输入管连通该回收囊的氮气往复管,且该氮气输入管上设有一控制阀,该控制阀选择性地开启该氮气输入管。 |
地址 |
高雄市三民区泰康街155号 |