发明名称 |
磨料颗粒和抛光浆料的制造方法 |
摘要 |
一种包含母粒和形成在所述母粒的表面上的多个辅粒的磨料颗粒的制造方法和抛光浆料的制造方法,在所述抛光浆料中,所述磨料颗粒与抛光加速剂和pH值调节剂混合。
|
申请公布号 |
TWI522449 |
申请公布日期 |
2016.02.21 |
申请号 |
TW103131462 |
申请日期 |
2014.09.12 |
申请人 |
中小企业银行 |
发明人 |
郑胜元 |
分类号 |
C09K3/14(2006.01);C09G1/02(2006.01);B24D3/00(2006.01);H01L21/304(2006.01);H01L21/3105(2006.01);H01L21/02(2006.01) |
主分类号 |
C09K3/14(2006.01) |
代理机构 |
|
代理人 |
叶璟宗;郑婷文;詹富闵 |
主权项 |
一种磨料颗粒的制造方法,包括:混合第一前驱物材料水溶液与稀释的硷性溶液且对混合物溶液进行第一热处理以制备具有多面晶面的母粒;以及将硷性溶液添加到混合了所述母粒的混合物溶液,混合第二前驱物材料水溶液且对所得混合物溶液进行第二热处理以形成从所述母粒的表面向外突起的多个辅粒,其中所述第一前驱物材料水溶液及所述第二前驱物材料水溶液包含铈,其中所述第一热处理及所述第二热处理是在高于60℃且不高于100℃的温度下进行持续2小时到24小时。
|
地址 |
南韩 |