发明名称 УСТРОЙСТВО ВЕРТИКАЛЬНОГО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ПЛАСТИН ИЗ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ КАССЕТЫ В ТРАНСПОРТНУЮ ПРИ ИХ ОТМЫВКЕ И СУШКЕ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ЭФФЕКТА МАРАНГОНИ
摘要 1. Устройство вертикального перемещения пластин из технологической кассеты в транспортную при их отмывке и сушке с использованием эффекта Марангони с целью предотвращения смыкания пластин силами поверхностного натяжения, представляющее собой толкатель, выполненный в виде двух опорных полых стержней из полимерного материала, размещенных горизонтально и прикрепленных к штоку механизма вертикального перемещения.2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что опорные стержни толкателя имеют впадины, ограничивающие горизонтальное перемещение пластин, продольные сквозные полости, открытые по торцам, и сквозные поперечные прорези, соединенные с этими полостями.3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что один опорный стержень размещен на оси штока механизма вертикального перемещения, второй - параллельно первому, но сдвинут в сторону и приподнят, смещая пластины до упора в противоположные от второго стержня пазы технологической кассеты, фиксируя их в трех точках, не находящихся на одной прямой, в результате чего пластины не смыкаются и из пазов технологической кассеты попадают строго в соответствующие пазы транспортной кассеты.
申请公布号 RU159689(U1) 申请公布日期 2016.02.20
申请号 RU20150127580U 申请日期 2015.07.08
申请人 Общество с ограниченной ответственностью "Новые технологии и оборудование" 发明人
分类号 H01L21/08 主分类号 H01L21/08
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利