| 摘要 |
MEMS 소자는 서로 밀봉된 제 1 층(1), 제 2 층(2) 및 제 3 층(3)을 포함한다. 제 2 층(2)의 개구(8.1, 8.2)에 의해 제 2 층(2)에 가동 구조(7.1, 7.2)가 규정된다. 제 1 층(1)에는 제 2 층(2)의 가동 구조(7.1, 7.2) 방향으로 개구를 갖는 적어도 하나의 제 1 층 캐비티(6.1, 6.2)가 있다. 제 3 층(3)에는 제 2 층(2)의 가동 구조(7.1, 7.2) 방향으로 개구를 갖는 적어도 하나의 제 3 층 캐비티(9)가 있다. 따라서, 제 3 층 캐비티(9)와 제 2 층(2)은 MEMS 소자 내에 공간을 규정한다. 상기 공간의 표면상에는 게터층(10.1, 10.2)이 배치된다. 게터층(10.1, 10.2)은 바람직하게는 제 2 층(2)의 표면상에 배치되며, 특히 게터층(10.1, 10.2)은 제 2 층(2)의 정적 부분상에 배치된다. 다른 방법으로서, MEMS 소자는 적어도 두 개의 오목부(25.1, 25.2, 25.3)를 갖는 제 3 층 캐비티(24)를 가지며, 게터층(26.1, 26.2, 26.3)은 오목부(25.1, 25.2, 25.3)의 표면상에 배치된다. |
