| 摘要 |
본 발명은 카세트의 모서리 부분이 적재되는 웨이퍼의 형상과 일치되도록 모따기된 형상을 가지며, 다수개의 카세트를 장착한 상태에서 공정을 진행하는 원자층 증착장치의 중간 가스 공급수단에 의하여 공급되는 공정가스가 상기 모따기부를 통하여 기판 사이의 공간으로 정확하게 공급되어 다수개의 카세트에 대하여 안정적으로 공정을 수행할 수 있는 원자층 증착장치용 카세트 및 이를 구비하는 원자층 증착장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 원자층 증착장치는, 다수장의 기판이 로딩된 카세트 다수개를 일렬로 공정 챔버 내에 장입한 상태에서 상기 공정 챔버 내에 장입된 모든 기판에 대하여 동시에 원자층 증착 공정을 진행하는 원자층 증착 장치에 있어서, 상기 공정 챔버 중 각 카세트의 밀착지점에 설치되어, 공정가스를 공급하는 중간 가스 공급수단;과 모서리 부분이 모따기된 모서리부를 가지는 카세트;를 구비하는 것을 특징으로 한다. |
