| 摘要 |
이온 이동도 분광분석법 활용분야에 있어서, 센서 구조물의 원하는 형태는 알루미늄 니트라이드와 같은 세라믹 물질로부터 원하는 형태를 형성함에 의해 생성될 수 있다. 다양한 실시예에서, 센서 구조물은 분리된 개별 세라믹 시트를 사용하여, 및/또는 사전 형성된 세라믹 튜브로부터 형성될 수 있다. 비아홀은 센서 구조물 내에 형성되어서, IMS 드리프트 튜브의 효율적인 회로 컨피규레이션을 제공하고, 및/또는 드리프트 튜브의 내부와 외부 사이에 전기적 연결을 제공한다. |
