| 摘要 |
상호접합 층(6)에 의해 생산 기판(4)과 연결되어 있는 캐리어 기판(2)으로부터 생산 기판(4)을, 유연성 필름(3)을 이용해 스트립(strip)하기 위한 장치에 있어서, 상기 유연성 필름(3)은 필름 프레임(1)에 장착되며, 필름(3)의 접합 표면 섹션(3k)에서 생산 기판(4)을 고정하는 접착 층(3s)을 포함하며, 필름(3)은, 접합 표면 섹션(3k)을 에워싸는 자신의 결합 섹션(3b)에서 필름 프레임(1) 상에 장착되고, 필름(3)은 접합 표면 섹션(3k)과 결합 섹션(3b) 사이에 위치하는 스트립 섹션(3a)을 포함하는 것을 특징으로 하는 스트립하기 위한 장치. 상호접합 층(6)에 의해 생산 기판(4)과 연결되어 있는 캐리어 기판(2)으로부터 생산 기판(4)을, 유연성 필름(3)을 이용해 스트립(strip)하기 위한 방법에 있어서, 상기 유연성 필름(3)은 필름 프레임(1)에 장착되며, 필름(3)의 접합 표면 섹션(3k)에서 생산 기판(4)을 고정하는 접착 층(3s)을 포함하며, 필름(3)은, 접합 표면 섹션(3k)을 에워싸는 자신의 결합 섹션(3b)에서 필름 프레임(1) 상에 장착되고, 필름(3)은 접합 표면 섹션(3k)과 결합 섹션(3b) 사이에 위치하는 스트립 섹션(3a)을 포함하며, 스트립 수단에 의해, 캐리어 기판(2)으로부터 생산 기판(4)이 상기 생산 기판(4)의 주변부(4u)에서부터 스트립하기 위한 방법에 관한 발명. |
