Method for manufacturing a nanowire structure with pyramidal quantum dot
摘要
본 발명의 일 실시예에 따른 나노선 구조체의 제조방법은, (a) 기판을 마련하는 단계; (b) 상기 기판 상에서 제1 도전형 반도체를 성장시키는 단계; 및 (c) 수직형 나노와이어 형태로 성장된 상기 제1 도전형 반도체 상에 Ⅴ족 전구체를 연속적으로 공급하되 Ⅲ족 전구체는 펄스 방식으로 공급함으로써 양자점을 형성하는 단계를 포함한다.