发明名称 Method for manufacturing a nanowire structure with pyramidal quantum dot
摘要 본 발명의 일 실시예에 따른 나노선 구조체의 제조방법은, (a) 기판을 마련하는 단계; (b) 상기 기판 상에서 제1 도전형 반도체를 성장시키는 단계; 및 (c) 수직형 나노와이어 형태로 성장된 상기 제1 도전형 반도체 상에 Ⅴ족 전구체를 연속적으로 공급하되 Ⅲ족 전구체는 펄스 방식으로 공급함으로써 양자점을 형성하는 단계를 포함한다.
申请公布号 KR101595097(B1) 申请公布日期 2016.02.18
申请号 KR20140095794 申请日期 2014.07.28
申请人 전북대학교산학협력단 发明人 이철로;박지현
分类号 B82B3/00 主分类号 B82B3/00
代理机构 代理人
主权项
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