| 摘要 |
현상시의 팽윤이 작은 고분자 화합물의 원료로서 유용한 하기의 중합성 화합물, 그 중합성 화합물을 함유하는 원료를 중합하여 얻어지는 고분자 화합물, 그 고분자 화합물을 함유하는 LWR 이 개선된 포토레지스트 조성물, 그리고 상기 중합성 화합물의 효율적인 제조 방법을 제공한다.(식 중, n 은 0 ∼ 2 의 정수를 나타낸다. R은 수소 원자, 메틸기 또는 트리플루오로메틸기를 나타낸다. R, R, R, R, R, R, R, R, R은 수소 원자, 탄소수 1 ∼ 6 의 알킬기 등을 나타낸다. W 는 탄소수 1 ∼ 10 의 알킬렌기 등을 나타낸다. Y및 Y는 산소 원자 또는 황 원자를 나타낸다) |
