发明名称 皮膜検査方法
摘要 化学気相成長(CVD)皮膜における不連続性を検出するための反射光測定方法及び他の方法が開示される。方法はいくつかのステップを含む。外側表面と、内側表面と、内側表面及び外側表面の少なくとも1つの上にあるCVD皮膜と、を有する熱可塑性プラスチック容器壁(710)が提供される。容器壁とCVD皮膜は異なる屈折率を有する。電磁エネルギー(718)をCVD皮膜の複数位置に、CVD皮膜の複数位置からエネルギーを反射させるのに有効な条件下で入射させる。反射エネルギーは、反射エネルギーがCVD皮膜における不連続性の少なくとも1つのアーチファクトを含むかどうかを判定するために分析される。
申请公布号 JP2016505132(A) 申请公布日期 2016.02.18
申请号 JP20150540791 申请日期 2013.10.31
申请人 エスアイオーツー・メディカル・プロダクツ・インコーポレイテッド 发明人 トーマス・イー・フィスク
分类号 G01N21/45;C23C16/52;G01N21/27;G01N23/20 主分类号 G01N21/45
代理机构 代理人
主权项
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