发明名称 Cryopump and method for evacuation
摘要 본 발명은 크라이오펌프의 가스흡장량을 향상시키는 것을 과제로 한다. 크라이오펌프(10)는, 방사실드(30)와, 실드개구(26)를 횡단하는 플레이트부재(32)를 구비하는 제1 크라이오패널(18)과, 제1 크라이오패널(18)에 둘러싸여 있으며, 제1 크라이오패널(18)보다 저온으로 냉각되는 제2 크라이오패널(20)을 구비한다. 플레이트부재(32)는, 플레이트 본체부(50)와, 플레이트 본체부(50)를 방사실드(30)에 장착하기 위한 플레이트 외측 가장자리부를 구비한다. 플레이트 본체부(50)는, 제2 크라이오패널(20)에 응축되는 가스를 통과시키기 위한 다수의 작은 구멍을 가지는 가스통과영역(56)과, 플레이트 본체부(50)에 있어서 가스통과영역(56)과 상이한 장소에 형성되어 있는 가스차폐영역(58)을 구비한다.
申请公布号 KR101595435(B1) 申请公布日期 2016.02.18
申请号 KR20140030157 申请日期 2014.03.14
申请人 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 发明人 오이카와 켄
分类号 F04B37/08;F04B37/14;F04B37/16 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
主权项
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